سامانه لایه‌نشانی PVD تحت خلأ دانشگاه شاهد طراحی و ساخته شد

سامانه لایه‌نشانی نیمه اتوماتیک تبخیر مقاومتی و اسپاترینگ مدل 160-ETSI به همت متخصصان مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا برای دانشگاه شاهد طراحی و ساخته شد.
این دستگاه در تیرماه سالجاری در محل آزمایشگاه لایه ‌نشانی دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه شاهد نصب و مورد بهره‌برداری قرار گرفت.

سامانه لایه‌نشانی نیمه اتوماتیک تبخیر مقاومتی و اسپاترینگ مدل 160-ETSI دارای یک محفظه ۱۱۰ لیتری استیل است که توسط دو پمپ توربومولکولار و روتاری خلأ می‌شود.
این سامانه مجهز به کاتد مگنترون اسپاترینگ ۳ اینچ، منبع تبخیر مقاومتی، نمونه گردان با قابلیت تنظیم دور و ارتفاع، گرمکن زیرلایه تا ۳۰۰ درجه سانتی گراد، ضخامت سنج و … است.