سیستم لایه نشانی تحت خلأ

تعداد بازدید:۴۲۵
( ۵ )
سیستم لایه نشانی تحت خلأ

اجزاء محصول:

  • سیستم لایه نشانی تبخیر در خلأ بالا مجهز به منبع پرتو الکترونی (مدلهای ETS وEDS)
  • سیستم لایه نشانیDC&RF مگنترون اسپاترینگ در خلأ بالا (مدل MSS)
  • سیستم لایه نشانی تبخیر با لیزر پالسی (مدل LTS)
  • سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner)
  • چشمه پرتو یون پهن رادیوفرکانسی و جریان مستقیم
  • منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ۳ کیلووات
  • منبع تبخیر مقاومتی جریان بالا
  • فیدتروهای الکتریکی و مکانیکی
  • گرمکن های تابشی
  • نگهدارنده نمونه
  • کاتد مگنترون اسپاترینگ(DC & RF) با تارگت های قطر ۲ و ۳ اینچ
  • ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری خنک شونده با آب و قابل انعطاف

کاربردها:

  • درفناوری نانو، اپتیک، میکروالکترونیک، ابررسانایی، فیلتر های نوری، اپتوالکترونیک، آینه های لیزر، لایه های دی الکترنیک، پوشش های سخت، پوشش های تزئینی

گروه پژوهشی فناوری خلأ

کلیدواژه‌ها: سیستم لایه نشانی تحت خلأ سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف