مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا
رفع نیازهای فنی کشور یکی از مأموریت های جهاددانشگاهی از بدو تأسیس تاکنون می باشد. تحمیل تحریم های خصمانه از ابتدای انقلاب شکوهمند اسلامی بر کشورمان، موجب گردیده بخش های صنعت و پژوهش همواره متضرر شوند. مرکز فناوری خلأ بالای سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف به عنوان یکی از مراکز فعال در زمینه تکنولوژی خلأ، در راستای رفع مشکلات و کمک به حوزه پژوهش های کاربردی در سال ۱۳۷۰ تأسیس گردید. این مرکز به عنوان اولین طراح و سازنده سیستم های لایه نشانی تحت خلأ در کشور توانست با همکاری اساتید دانشگاه و پژوهشگران مجرب، به توسعه و استاندارد سازی محصولات در این حوزه، بپردازد.
مرکز فناوری خلأ بالا در طول بیش از دو دهه فعالیت توانسته است جایگاه ویژه‌ای در بین مراکز تحقیقاتی کشور به دست آورد، این موفقیت مرهون تلاش، خلاقیت و پشتوانه علمی کارشناسان مجموعه، بهره‌گیری از مدیریت مشارکتی، ایجاد روحیه نوگرایی و استفاده از بهترین و توانمندترین صاحب‌نظران و نخبگان در حوزه‌های مختلف پژوهش های کاربردی در حوزه خلأ و نانوتکنولوژی می باشد.
سوابق و تجربیات
- اولین سازنده سیستم‌هاى لایه نشانى تحت خلأ در ایران – برگزیده جشنواره خوارزمى
- تنها سازنده چشمه پرتوی پهن یون درایران – داراى گواهى ثبت اختراع
- طراحی و ساخت انواع سیستم‌های لایه نشانی تحت خلأ مواد رسانا و دی‌الکتریک برای بسیاری از دانشگاه ها و مراکز تحقیقاتی داخل و خارج از کشور
- تعمیر، نگهدارى، مونتاژ و تست انواع سیستم‌هاى لایه نشانی در خلأ بالا
- ارائه مشاوره فنی در زمینه طراحی و ساخت انواع سیستم‌های تحت خلأ
- انجام لایه نشانی‌های خاص به روش PVD
محصولات
- سیستم لایه نشانی و زدایش با چشمه یون (مدلهاى ITS,IDS)
- سیستم لایه نشانی تبخیر با پرتوی الکترونی (مدلهاى ETS,EDS)
- سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ (مدل MSS)
- سیستم لایه نشانی تبخیر با لیزر (مدل LTS)
- سیستم ذوبریسی در خلأ (MEIT SPINNER)
- چشمه پرتوی یون (DC&RF)
- کاتد مگنترون اسپاترینگ (DC&RF) ۲و۳ اینچ
- کاتد تمیزکاری پلاسمای موضعی و سراسری
- منبع تبخیرپرتو الکترونى مغناطیسى ۳ کیلووات
- منبع تبخیر مقاومتى جریان بالا
- نگهدارنده نمونه برقى چرکان با امکان کنترل دور
- فیدتروهاى الکتریکى ومکانیکی
- گرمکن هاى تابشی ۳۰۰ و ۷۵۰ درجه سانتیگراد
- ضخامت سنج کریستالى کامپیوترى خنک شونده با آب وقابل انعطاف
برای مطالعه مطالب فصلنامه مرکز خدمات تخصصی خلأبالا اینجا کلیک کنید.
تلفن: 67641431 و 67641430- 021
نمابر: 66075613 و 67641337- 021
پست الکترونیکی: hivac@jdsharif.ac.ir