آزمایشگاه میکروالکترونیک

معرفی آزمایشگاه
آزمایشگاه میکروالکترونیک، دارای بیش از سه دهه تجربه در ارائه خدمات تخصصی در زمینه های میکرولیتوگرافی، ساخت انواع رتیکل، ساخت انواع تراشه های میکروفلوئیدیک، ساخت انواع نمونه های مهندسی و برش های دقیق می باشد.

این مجموعه مجهز به سیستم های تنظیم ماسک(Mask Aligner)، لایه نشانی چرخشی(Spin coater)، اتاق ها و میزهای تمیز، میکروسکوپ های کنترل کیفیت و تجهیزات برش و بسته بندی ازقبیل Wire Bonder و Probe Station می باشد. همچنین به دلیل تعامل گسترده این مرکز با اغلب مراکز پژوهشی و دانشگاه های کشور، امکان دریافت خدمات دیگر نیز در این مرکز فراهم است.

در این آزمایشگاه با تأکید بر روی تکرارپذیر و قابل اطمینان کردن فرآیندهای مختلف، امکان تولید نیمه صنعتی نمونه های مهندسی فراهم شده است.خدمات و توانایی های تخصصی

خدمات و توانایی های تخصصی
• ارائه خدمات میکرولیتوگرافی بر روی لایه های نازک فلزی و دی الکتریک با دقت نیم میکرون در زمینه های زیر:
– میکروالکترونیک: ساخت انواع سنسورها، ریزمقاومت ها، دیود شاتکی و …
– آپتوالکترونیک و اپتیک: ساخت انواع انکودر، پین هول، توری، شکاف، موجبرها و …
– سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS و BioMEMS ): ساخت Saw Filter، شتاب سنج مکانیکی،
بیوسنسورها و میکروالکترودهای شانه ای با فواصل میکرونی و …
• طراحی و ساخت ماسک کرومی با دقت ۱ میکرون
• حکاکی و میکرولیتوگرافی دقیق بر روی سنگ های قیمتی سخت
• ارائه خدمات Soft Lithography در حوزه های میکروفلوئیدیک و ریزسیستم های زیستی به شرح زیر:
– تولید میکروکانال های پلیمری از جنس ۸- SU و PDMS مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف۳_۴
– تولید میکروکانال های عمیق از جنس شیشه مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
– تولید میکروکانال از جنس سیلیکون مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
• تولید انبوه انواع رتیکل از نوع لایه نازک فلزی یا از نوع حک بر روی شیشه با مشخصات زیر:
– عرض خط برای رتیکل با الگوی لایه نازک فلزی: mm 0.001 ± ۰٫۰۰۶
– عرض خط برای رتیکل با الگوی حکاکی شده روی سطح شیشه: mm 0.002 ± ۰٫۰۱۲
• خدمات Wire Bonding و جوش دقیق سیم های نازک
• برش دقیق ویفرها و زیرلایه های مختلف۴_۲ • برگزاری دوره آموزش میکرولیتوگرافی و میکروفلوئیدیک
• تهیه مواد و تجهیزات مرتبط با میکرولیتوگرافی از قبیل ویفرهای سیلیکونی، فوتورزیست، خورنده ها، مواد
ظهور، رزین ها و چسب های مختلف
• ساخت مدارات مجتمع لایه نازک مایکروویو چندلایه ای بر روی بسترهای سرامیکی و تفلون
• اجرای پروژه های انتقال تکنولوژی، طراحی آزمایشگاه ها و تجهیزات خاص تحقیقاتی در زمینه ساخت
قطعات میکروالکترونیکی
 

تلفن: ۶۶۰۷۵۱۵۶ و ۶۶۰۲۸۱۹۴

پست الکترونیکی: microelectronic@jdsharif.ac.ir